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연세대, 차세대 반도체 노광장비 원천기술 개발

박성환 기자 | 기사입력 2012/11/26 [22:00]
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연세대, 차세대 반도체 노광장비 원천기술 개발

박성환 기자 | 입력 : 2012/11/26 [22:00]
연세대, 차세대 반도체 노광장비 원천기술 개발
 
 
 
박성환 기자 = 국내 연구진이 반도체 분야 차세대 노광장비 원천기술을 개발했다.

26일 연세대학교(총장 정갑영)에 따르면 이 대학 한재원 기계공학 교수 연구팀이 현재 반도체 생산에 문제가 되고 있는 반도체 노광기술의 한계를 극복하기 위해 플라즈모닉(Plasmonic) 기술을 이용한 10nm(나노미터)급 차세대 반도체 노광장비의 원천 기술을 개발했다.

노광기술은 빛을 이용해 기판에 나노 패턴을 구현하는 공정 기술로 DRAM 반도체 및 LCD 디스플레이 재품의 핵심 생산기술이다. 하지만 대당 수백억 원에 이르는 고가의 노광장비를 전량 수입에 의존하고 있어 반도체 및 디스플레이 산업의 경쟁력 향상에 큰 걸림돌이 되고 있다.

한 교수 연구팀은 플라즈모닉 노광 관련 20여 건의 국내외 원천기술 특허를 확보하고 있다. 이에 첨단 반도체 생산 장비의 상용화 및 국내 반도체 산업기술의 국제경쟁력 향상에 중요한 역할을 할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

한 교수는 "플라즈모닉 기술을 이용해 분해능을 획기적으로 향상시킬 수 있는 노광기술 개발에 성공했다"며 "반도체 노광기술의 한계로 차세대 반도체 생산에 큰 어려움을 겪고 있는 국내 반도체 업계의 국제적 리더십을 유지하는 데 기여할 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.

한편 이번 연구 결과는 광학·재료 분야 세계적 권위지인 '어드밴스드 옵티컬 머터리얼지'(Advanced Optical Materials·11월20일 발행) 표지논문으로 선정·게재됐다.

sky0322@newsis.com

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  • Mango 2014/08/06 [01:18] 수정 | 삭제
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